無油真空泵是一種無需任何油作潤滑就能運轉工作的機械真空泵。它具有結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。無油真空泵耐用性好，是抽真空，壓縮，兩用真空泵，是一種應用范圍非常廣泛獲得真空的基本設備。

一、無油真空泵工作原理：

無油真空泵工作原理常見的有三種，分別與容積泵、爪泵和低溫泵相似。下面，小編就為大家詳細介紹無油真空泵工作原理。

1.通過容積變化，在體積大的時候吸入空氣，在體積變小時(壓力變大)排出空氣，容積變化是靠著活動的機械部件來實現的，要求有很小的間隙并且有很高的精度，比如爪泵。

2.依靠非常高的機械動轉速度，將空氣分子定向撞擊而攜帶走，如分子泵。三是低溫泵，在接近絕對零度的冷面上，幾乎所有的空氣分子都被冷凍捕集在表面。

二、無油真空泵日常使用及維護時，需要注意以下事項：

1.應具有充分良好的通風條件及低于40℃的環境溫度。

2.無灰塵及臟物的清潔場所。

3.無水、油等液體會降落到泵上。

4.不直接暴露在陽光里。

5.有足夠的周圍空間能便于泵的檢查，維護和裝拆。

6.泵必須安裝在平坦的平面上。

7.最好將泵放在類似混凝土堅硬的地基上安裝，如果沒有條件，也可將泵牢固地安裝在鋼制或木制的機架上。

8.必須確保泵不因基礎不牢固而引起震動。

9.與泵連接管道不宜過長和小于泵進口徑，影響抽速，同是注意檢查真空連接管道有否漏氣。

10.接電線時，應注意電機銘牌上的規定接線要求。三相電泵要注意電機旋轉方向應與泵上的標示箭頭方向一致。

三、無油真空泵類型

隨著社會科技的發展，越來越多的行業，對清潔真空、環保等的需求嚴格，要求避免返油漏油的污染，因此無油真空泵得到了快速地發展。因為起步較晚，很多企業用戶對無油真空泵的印象僅僅停留在爪式真空泵、螺桿真空泵少數幾類上。而事實上，無油真空泵涉及的種類可不止這些。

1.爪式真空泵

它是針對電子半導體工業而研制開發的干式真空泵，適應清潔真空需求，并且具有自行開閉的閥門效果，具備較高的效率。

2.螺桿真空泵

螺桿真空泵與爪式真空泵一樣都是非接觸式的無油真空泵，泵腔內不含油、水等物質，同時轉子間存在間隙，因此對顆粒物、可凝性氣體具有一定的耐受性。同時對比爪式真空泵，因為不具備類似閥門的結構，效率上有所欠缺，但其氣道通順、轉子結構簡單，適應性更好，因此兩者相比各有優勢。

3.渦旋式真空泵

渦旋式真空泵的研制生產主要集中與美國、日本以及英國，因此國內很多企業都不了解這種無油真空泵。它抽速較小，較多地應用與分析儀器、半導體芯片生產線、科研設備中，以及作為分子泵與小型低溫泵的前級泵出現。

4.羅茨真空泵

羅茨真空泵種類較多，分濕式、干式以及直排大氣型、普通型、多級羅茨等等，因此造成了一些用戶對它的誤解。應用于中高真空的機械增壓泵以及多級羅茨泵其實都是無油真空泵，且抽氣量大，應用廣泛。

5.無油旋片真空泵與無油活塞真空泵（往復泵）

雖然常見旋片真空泵與活塞真空泵，在泵腔內都是有油介質參與的，但它們也可以通過采用自潤滑材料實現無油運作，成為無油真空泵。另外往復泵里的隔膜真空泵，也有無油型的。

6.渦輪分子泵

它是一種原應用于超高真空的無油真空泵，隨著向高出口壓力、高流量方向發展，應用范圍逐漸向中高真空領域發展。

以上幾種就是目前常見的幾大無油真空泵種類。此外還有低溫泵、吸附泵等可以實現清潔無油真空環境的氣體捕集泵，但通常不會把它們歸入到無油真空泵里去，所以在此也不再作列舉了。