無油干式真空泵的用戶大部分是由原先的油封真空泵、水環真空泵用戶轉換而來。那為什么越來越多的企業客戶要放棄原先的油封真空泵或水環真空泵，而選擇干式無油真空泵呢？

在干式無油真空泵沒有得到廣泛應用之前，真空泵客戶使用的，無論是油封泵或者是水環泵，它們都是用油、水等介質作為真空泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。在常規領域，尤其是對返流、污染等情況不敏感或者要求不嚴格的前提下，油封泵、水環泵等有著明顯優勢：生產企業品牌眾多，購置成本較低，且能滿足真空性能要求等等。

但隨著真空應用領域的擴大以及一些工藝對清潔真空的嚴苛需求，在一些領域，原有的油封泵、水環泵及其組成的抽氣系統不可避免地出現了幾個需要解決的問題：

一、真空泵的工作介質返流，污染被抽容器環境及產品。

在真空系統，尤其是高真空系統中，真空泵內的氣體可能流返到被抽真空室內。這種返流現象，發生在油封泵等非干式真空泵上，其中的工作介質就會影響真空室的清潔環境，進而影響產品的品質、數量。傳統的油封泵等為了處理這種現象就需要增加額外的吸附、冷凝等設備配套，增加設備的維護成本。

二、工作介質的變質反應，進而侵蝕設備。

一些工藝過程的抽取介質可能與工作介質發生反應，使真空泵內的工作介質變質或發生侵蝕，使泵故障而無法正常工作。如油封泵的泵油乳化或研磨顆粒混入泵油，水環泵的工作液與介質反應形成酸液等等。

三、回收介質污染。

在一些醫藥化工以及食品工業中，真空泵設備會用于有機溶劑的回收。此時油封真空泵與水環真空泵等都難以避免讓工作介質與有機溶劑混合，造成污染，回收困難。此時就需要增加分離工藝以及相應的成套設備，導致使用成本增加。

四、環境污染。

油封泵或者水環泵等雖然都可以直排大氣，但是因為抽取的介質都夾帶油液。為了應對日益嚴峻的環保問題，減少對環境的污染，因此需要對排放介質進行處理，如水環真空泵的污水處理，一系列的設備與工藝部署就難以避免。

面對上述問題，干式無油真空泵卻能很好地予以解決。工作泵腔無油無水，既不會對真空室產生污染，更不會污染抽取介質。且配套少，也可直排大氣。雖然短期的購置投入成本超過傳統真空泵，但后期的使用維護成本，干式無油真空泵卻要遠遠低出，而且時間越久，后期成本差異就愈加明顯。

因此說，在一些工藝應用上，例如氣相沉積、半導體蝕刻工藝以及食品醫藥化工的蒸餾干燥、溶劑回收等等，對清潔真空要求強烈的領域，干式無油真空泵方案要比傳統油泵更受企業青睞，也是越來越多的企業選擇干式無油真空泵的原因。