旋片真空泵是一種裝有旋片的偏置轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)作回轉(zhuǎn)運動，使由旋片分隔的泵腔工作室容積周期性變化以實現(xiàn)抽氣的真空泵。

旋片真空泵分為單級旋片真空泵和雙級旋片真空泵，二者之間有哪些差異呢？

單級旋片式真空泵和雙級旋片式真空泵的潤滑方法的適用范圍不同。雙級旋片式真空泵中有效的分餾作用使其更適于在低壓強(低于1Torr)下工作。

油分解產(chǎn)生的污染最終要出現(xiàn)在大氣級的油中，并且它對*級性能的影響是不太大的，這意味著兩次換油之間相當長的時間內(nèi)可以滿意地工作。使用氣鎮(zhèn)有助于得到使油凈化的效果，而在泵的入口處，只會增加千分之幾Torr的空氣分壓強，同時降低了工作噪聲。即使沒有氣鎮(zhèn)，雙級旋片式真空泵的噪聲水平一般也比單級旋片式真空泵低。大氣級的高油流率產(chǎn)生的液壓噪聲，在高真空級是不存在的。低的油流率使得雙級旋片式真空泵適于低壓強下工作，而不適于在高壓強下持續(xù)工作。

對于大的氣體質(zhì)量流，當高真空級儲油池的油耗盡時，面對強氣流，油是無法反濺流入泵腔中的。所以，當必須在高壓強(約l0Torr以上)下持續(xù)工作時，應(yīng)強制性地提供油，以進行潤滑。

單級旋片式真空泵的潤滑系統(tǒng)是基于差壓原理，它在低于500-600Torr的壓強下，就能很好地工作。當入口壓強較高時，油路的氣體反流阻止了油的流動，只有強制性供油才能在500Torr以上的壓強下連續(xù)工作。在必須處理大質(zhì)旦流率時，單級旋片式真空泵通常要考慮設(shè)置油氣分離器。