真空泵廠家分析真空壓力控制系統(tǒng)如何優(yōu)化。芯片的刻蝕工藝通常要在一個受控的真空環(huán)境下工作，反應(yīng)腔的功能是在真空環(huán)境中保持工藝參數(shù)需要的壓力，去除不需要的水汽、空氣和附加反應(yīng)物；創(chuàng)建一個能夠使等離子體發(fā)生反應(yīng)的真空環(huán)境。為了降低刻蝕機真空壓力控制系統(tǒng)的成本，實現(xiàn)高真空獲得設(shè)備的清潔化、簡單化和微型化，同時為了提高真空系統(tǒng)的抽氣速率和極限真空，系統(tǒng)中的腔、真空泵以及連接管路和閥門的選配是很重要的。

刻蝕機為了保證刻蝕工藝需要的穩(wěn)定工作壓力，大抽速真空系統(tǒng)是必不可少的組成部分。萊諾真空泵廠家詳細地介紹反應(yīng)腔、真空泵的選擇、真空閥門的選配、真空計和真空檢測開關(guān)、真空計和真空檢測開關(guān)和連接管路。

關(guān)于真空系統(tǒng)的基本概念，東莞市萊諾機電科技有限公司整理出下面的內(nèi)容。

1、真空度

真空度是指一個封閉空間內(nèi)的氣體壓力小于外界大氣壓力的程度，其值也在零和大氣壓力之間，但其意義與絕對壓力相反。當真空度為零時，表明封閉空間處于常壓狀態(tài);當真空度等于大氣壓力時，表明封閉空間內(nèi)不存在任何物質(zhì)處于全真空狀態(tài)。

2、最大真空度

最大真空度，有的稱極限真空度，也有稱極限真空，均指真空泵抽氣時可以達到的最低絕對壓力值，是真空泵的基本工藝性能參數(shù)。其單位各樣本不一，選用時注意單位換算。

3、抽氣速率

它主要包括定量、流量和抽氣速率。定量的氣體分子在指定的溫度下其占據(jù)的空間體積與氣體壓力有關(guān)。流量指單位時間內(nèi)通過真空系統(tǒng)某一斷面的氣量。抽氣速率指單位時間內(nèi)，由真空泵從封閉空間內(nèi)抽出的氣體體積數(shù)。封閉空間的氣體體積與其絕對壓力有關(guān)。

4、封閉空間的抽氣速率

封閉空間的抽氣速率是指將一個封閉空間造成一定真空時所需的抽氣速率，是被抽氣體在出離封閉空間處的速率。其影響因素主要有：

①漏入封閉空間的外界空氣量。雖然有些封閉空間可以做到只有極低的空氣泄漏量，但幾乎沒有一個能達到完全氣密。實踐證明，必須考慮空氣泄漏量。

②泄漏空氣中飽和的可凝蒸氣量。對一個存在氣液兩相的封閉空間，在抽氣造真空時，其液面上的可凝蒸氣也將被抽走，所以必須考慮這些可凝蒸氣的量。

③生產(chǎn)過程釋放的空氣量和不凝氣體量。

5、真空泵的抽氣速率

真空泵的抽氣速率是指真空泵本身具有的抽氣速率，是被抽氣體在真空泵進囗處的速率，它是真空泵的另一個基本工藝性能參數(shù)。