真空泵進行能量轉換時，總是有一小部分損耗轉變成熱量，它必須通過電機外殼和周圍介質不斷將熱量散發出去，這個散發熱量的過程，稱為冷卻。而且真空泵工作時會產生一定的熱量，這些熱量如果得不到及時散熱的話，時間一長就會對真空泵內部零件造成影響，甚至損壞。這就會影響到真空泵的正常工作，甚至會損壞真空泵。

真空泵是否不能存在大量油污。的確，真空泵在很多行業都得到廣泛的應用。特別是當氣鎮油封機械排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統不允許油污染的時候更為明顯。因此，真空泵不能存在大量油污。

關于真空泵的散熱冷卻方案有很多種的，根據機體不同部位的發熱量來確定合適的散熱方案。例如：真空泵工作壓力高的時候，溫度上升快，溫度高，普通真空泵需要循環水進行冷卻降溫，從而保護風機不受損壞。

重點來了，真空泵的散熱冷卻技巧，主要有四大點：

一、空氣冷卻：

即是由間級或雙級泵吸入的空氣經壓縮后，通過綜合吸收及有相位差的組合消音器傳送。

二、轉子的內部冷卻：

為了使真空泵在更高壓差下工作，可采取更有效的冷卻方法，即將轉子用循環油冷卻，在真空機組軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入，經轉子內壁再從另一端排出。

三、轉子的油膜冷卻：

這種冷卻方法是在真空泵入口處連接一個輸油管，用均勻滴下的冷卻油帶走轉子的熱量。

四、冷卻：

真空泵由于輸送和壓縮氣體而產生熱量，這些熱量必須從轉子傳至殼體而散發。